無塵室概念

一無塵室（潔淨室、無菌室）之涵義
潔淨室係結合結構設計、設施佈局、材料、內裝、機電、空調、水循環處理、自動化儀控等各種專業技術，將一定空間範圍內空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物予以排除，並將室內之溫濕度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分佈、噪音振動、照明、靜電等因素控制在某一需求範圍內，所給予特別設計之建築設施。

二無塵室潔淨度等級之定義
目前世界各國所普遍採用之無塵室規格以美國聯邦標準209D之無塵室規格為主，詳見下表：

從另一角度看，潔淨室等級之定義，亦可以潔淨度等級數字來釋義：即0.5μm潔淨度1級(0.5μm Class1)意表每立方英呎室內之空氣，所含有大或等於0.5μm (10-6m)之微塵粒子不超過1顆；潔淨室10級則為不超過10顆，潔淨室100級，1000級………依此類推。我們可以一簡式表示之，即 Class1：≦1pc/ft3(@≧0.5μm)，Class10：≦10pc/ft3(@≧0.5μm)……。

三 無塵室之用途說明
潔淨室之使用，大致上可分為二類，即工業用潔淨室(Industrial Clean Room) 簡稱 I.C.R (又稱為無塵室) 和生化及醫藥用潔淨(Biological Clean Room)，簡稱 B.C.R (又稱無菌室)。 ICR以半導體、電子工業、光學儀器、精密機械、精緻塗裝、新化學材料產業及航空太空產業等為應用範圍。
一般要求無塵室之潔淨度如下
半導體工業
1. 結晶料製、蝕刻製程、位置處理、表面處理、金屬蒸著等生產作業需1~10等級。
2. 其他生產作業大多需100等級。
生化、製藥及醫療 視不同生產作業各有1~10、100、1000、10000、100000等級之不同需求。
雷射工業 固體雷射需1~10等級，其餘大部分需100等級。
精密儀器 視不同生產作業各有1~10、100、1000、10000、100000等級之不同需求。
光電工業 視不同生產作業各有1~10、100、1000、10000、100000等級之不同需求。
精密機械工業 視不同生產作業各有100、1000、10000、100000等級之不同需求。